簡介　　分子真空泵是在1911年由德國人蓋德(w·Gaede)首先發(fā)明的，并闡述了分子泵的抽氣理論，使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同，分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運動的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產(chǎn)生定向流動，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。結(jié)構(gòu)特點　　泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當(dāng)于一個單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有0.01mm的間隙。氣體分子由入口進(jìn)入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè)，經(jīng)排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優(yōu)點是起動時間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應(yīng)用。曾一度被結(jié)構(gòu)和制造簡單，抽速大的擴散泵所代替?！　【褪窃谟蛿U散泵開始得到廣泛應(yīng)用的時代，人們在牽引分子泵的結(jié)構(gòu)改進(jìn)方面仍然做了許多工作。如Holweck、Siehbahn、Gondet等先后對Gaede型分子泵做了許多改進(jìn)，提出了很多不同結(jié)構(gòu)的新型牽引分子泵。但由于其結(jié)構(gòu)仍較復(fù)雜，抽速低，因此未能得到廣泛應(yīng)用。原理　　分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。