請問透平真空機(jī)的原理？是不是屬于分子泵的一種？能不能介紹一下其性能特征？
時(shí)間：2014-09-09
原理有類似之處，都是拿高速旋轉(zhuǎn)的葉片排除氣體分子已達(dá)到真空。
原理有類似之處，都是拿高速旋轉(zhuǎn)的葉片排除氣體分子已達(dá)到真空。透平真空機(jī)可以看成是有多種真空泵組成的泵組。抽速比較大，但真空度比較低：抽氣速率(150～20000L/S)和真空度(0.099MPa）。而分子泵的真空度可以到達(dá)10-6Pa,抽速可以10L/S～3500L/S。但分鐘泵必須配合前幾泵使用
分子泵可以達(dá)到10-8Pa，抽速可以達(dá)到4000L/S，分子泵配合前級泵使用。
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