利用高壓?高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限壓力約10-2帕?工作壓力范圍一般為1.0～10-1帕?抽氣速率范圍為幾百到幾萬(wàn)升每秒?最大反壓力為幾百帕?是獲得中真空的主要設(shè)備之一。油擴(kuò)散噴射泵廣泛用于真空冶煉?空間仿真試驗(yàn)?真空鍍膜和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。在真空系統(tǒng)中?它可以用作為主抽泵?也可串聯(lián)在油擴(kuò)散泵與機(jī)械真空泵之間?用來(lái)提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍的抽氣量和降低前級(jí)機(jī)械真空泵的抽速容量。因此它又常稱為油增壓泵。