1引言渦旋的概念相當(dāng)久遠(yuǎn),20世紀(jì)初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專利。但由于當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制,渦旋機(jī)構(gòu)制造不出來,渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機(jī)構(gòu)被重新提起并制造出第一臺(tái)模型機(jī)構(gòu),使這項(xiàng)技術(shù)實(shí)際應(yīng)用成為可能。渦旋機(jī)構(gòu)的可靠性高、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢(shì)馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求,大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞,迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。trance、hitachi、copland等著名公司的渦旋壓縮機(jī)技術(shù)與產(chǎn)品弓領(lǐng)了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮,帶動(dòng)了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機(jī)行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè),實(shí)現(xiàn)了全無油、運(yùn)行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。人們應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對(duì)真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油泵的單級(jí)、雙級(jí)渦旋無油真空泵系列產(chǎn)品。上個(gè)世紀(jì)90年代初,世界上首臺(tái)渦旋真空泵推向市場,渦旋技術(shù)由此開始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。到目前為止,世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美國、日本和歐洲,以日本的anest1wata、美國的varian、德國的bush等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25l/s-1ol/s系列產(chǎn)品,有些15l/s或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗(yàn)階段。2渦旋無油真空泵(0-ifreescrollvacuumpump)的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果。時(shí)至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)并已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到下述科學(xué)研究與生產(chǎn)領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè)――薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②真空冶金行業(yè)――真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備;③科學(xué)儀器行業(yè)――同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器;④醫(yī)療設(shè)備――牙科儀器、透析機(jī);⑤生物制品行業(yè)――材料提純、藥品制備;⑥包裝行業(yè)――食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。3渦旋無油真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對(duì)比渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級(jí)渦旋無油真空泵中,有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤,一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動(dòng)渦旋盤。動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。眾所周知,渦旋無油真空泵(oilfreescrolivacuumpump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn)。下面以普通旋片真空泵為例,說明其差別:表1渦旋無油真空泵與普通直聯(lián)式旋片真空泵技術(shù)指標(biāo)的對(duì)比技術(shù)指標(biāo)旋片式油真空泵渦旋無油真空泵抽速(l/s)2.0,4.0,82.0,4.4,8.7極限真空度(pa)0.61.0使用壽命(h)4000040000大修間隔(h)800010000冷卻介質(zhì)油空氣噪聲(db)7560質(zhì)量(kg)7041電機(jī)相數(shù)31電壓(v)220/380220功率(kw)1.10.6轉(zhuǎn)數(shù)(r/min)140014374渦旋無油真空泵的優(yōu)點(diǎn)及其能給用戶解決的問題4.1渦旋無油真空泵性能優(yōu)越渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)是間隙曉、泄漏少,具有較高的壓縮比,在較寬的陋力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速,工作壓力范圍寬;由于壓縮腔容積的變化市連續(xù)的,因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小,功率變化小,振動(dòng)噪聲低,可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。4.2渦旋無油真空泵解決了污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問題給用戶造成不良